無塵室設備：5個步驟了解微粒子計數器與微粒子感測器的效益

在半導體、製藥、生技、光學與精密製造等產業中，無塵室設備的選擇直接影響生產品質與合規性。其中，微粒監測設備是潔淨環境維護的核心工具，主要分為微粒子計數器（Particle Counter）與微粒子感測器（Particle Sensor）。

兩者皆能測量空氣中的懸浮微粒，但在測量精度、數據輸出、應用場景等方面存在差異。企業應根據實際需求，選擇適合的設備，以確保環境符合潔淨標準並提升生產效率。以下透過五個步驟，帶您全面了解這兩種設備的效益與應用方式。

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步驟 1：了解微粒子計數器與微粒子感測器的基本原理

1.1 微粒子計數器的工作原理

微粒子計數器是一種精密測量儀器，可測量單位體積內的微粒數量，並區分不同粒徑的顆粒分佈，常見的測量技術包括：

• 雷射光散射法（Laser Scattering Method）：當微粒進入測量腔體時，雷射光束會照射微粒，產生散射光。根據光散射的角度與強度，可計算粒子大小與數量。
• 光遮蔽法（Light Obscuration Method）：當微粒通過光束時，會阻擋部分光線，偵測器可根據遮蔽程度測量粒子的大小與濃度。

優勢

• 精準測量 0.1μm 以上微粒，符合ISO 14644、GMP、FDA 等標準
• 提供詳細的粒徑分佈，適用於無塵室驗證與污染源分析
• 適合半導體、製藥、光學、精密電子等高潔淨需求產業

1.2 微粒子感測器的工作原理

微粒子感測器則用於長時間趨勢監測與自動化環境控制，常見技術包括：

• LED 光散射法（LED Light Scattering Method）：利用 LED 光源偵測微粒的散射光強度，估算空氣中的微粒濃度。
• 光學感測技術：可偵測特定粒徑（如 0.3μm、0.5μm、1.0μm），但無法區分細緻的粒徑分佈。

優勢

• 適合長時間監測空氣品質變化，可安裝於 HVAC、無塵室外圍與工業環境
• 價格較低，維護需求低，適合大範圍布點監測
• 即時警報功能，當微粒濃度超標時可立即發送警訊

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步驟 2：比較兩種設備的精度與應用場景

比較項目	微粒子計數器	微粒子感測器
測量範圍	0.1μm~10μm 以上	0.3μm~10μm
數據輸出	精確粒徑與數量	濃度變化趨勢
精確度	高，可測單顆粒子	中等，無法區分細小粒徑
應用場景	無塵室驗證、污染監測	HVAC、環境監測、長時間趨勢分析
合規標準	符合 ISO 14644、GMP	無法用於正式驗證
維護需求	需定期校準與保養	低維護，適合長時間運行

選擇設備時，應根據潔淨室環境要求與監測目的來決定是否需要高精度的粒徑數據，或僅需監測空氣品質變化趨勢。

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步驟 3：選擇合適的設備類型

3.1 適合選擇微粒子計數器的情境

✅ 需要符合 ISO 14644 無塵室標準，並進行環境認證
✅ 需分析不同粒徑的顆粒分佈，找出污染源
✅ 需定期驗證潔淨度，確保生產環境符合標準

3.2 適合選擇微粒子感測器的情境

✅ 需長時間監測環境趨勢，確保潔淨度穩定
✅ 需監測 HVAC 過濾系統的效能，確保過濾器運行正常
✅ 需即時偵測污染變化，並發送警報

TSI 桌上型微粒子計數器

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步驟 4：AES-FP 系列微粒子感測器的技術優勢

AES-FP 系列是針對潔淨室與空氣品質監測設計的高性價比解決方案，提供 0.3μm 或 0.5μm 以上粒子監測能力，並支援多種輸出介面。

AES-FP 主要特點

• LED 4 級潔淨度顯示（對應 ISO 5~8），可直觀顯示潔淨度變化
• 多種輸出介面（Wi-Fi、RS485、乙太網路），可輕鬆整合至監控系統
• 模組化設計，感測器單元可獨立更換，減少維護成本

AES-FP 型號	偵測粒徑	輸出介面
AES-FP-03	0.3μm	警報輸出
AES-FP-05	0.5μm	乙太網路
AES-FP-03V	0.3μm	電壓輸出
AES-FP-05W	0.5μm	Wi-Fi
AES-FPS	0.3μm	RS485

AES-FP 系列適合用於長時間環境監測、趨勢分析、即時污染偵測，提升潔淨室管理效率。

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步驟 5：建立完整的監測與分析系統

企業應考慮如何將微粒監測設備與數據分析系統結合，以實現更高效的潔淨管理：

• 搭配 IoT 監控平台，透過 Wi-Fi 或 RS485 實現遠端監測
• 自動化數據分析，長時間記錄微粒趨勢，優化潔淨策略
• AI 預測分析，預測未來可能發生的污染風險，提高管理效率

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選擇適合的微粒監測設備，提升無塵室的管理效能

透過這 5 個步驟，企業可更清楚如何選擇微粒監測設備。若需精確環境監測與合規驗證，微粒子計數器是必須的選擇；若希望長時間監測環境趨勢與設備效能，AES-FP 系列微粒子感測器則是最佳解決方案。

透過適當的設備選擇與數據分析，企業將能夠提升潔淨室管理效率，確保生產環境穩定可靠，進一步提升產品品質與競爭力。