微粒子計數器助力無塵室｜提升空氣品質的 5 個重點技巧

隨著科技產業對潔淨空間的要求日益嚴苛，微粒子計數器已成為無塵室中不可或缺的監控設備。無論是在半導體、生技製藥、精密製造或光電產業，只要空氣中懸浮微粒稍有超標，便可能導致產品瑕疵、良率下降，甚至產線停擺。那麼，如何善用微粒子計數器，有效提升無塵室空氣品質？以下整理出 5 個實用技巧，幫助你在實務管理中更得心應手。

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1. 選擇適合場域的微粒子計數器類型

不同產業的無塵室需求不一，選擇合適的設備至關重要：

• 手持式計數器（如 TSI 9303）：適合例行巡檢、操作靈活。
• 桌上型/落地型計數器（如 TSI 9310）：提供更多通道與高解析度數據。
• 遠端即時監控型（如 TSI AeroTrak 7000）：可整合系統與中央管理平台，即時預警。

✔ 建議：優先考量監測頻率、粒徑範圍與法規需求（如 ISO 14644-1、EU GMP）。

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2. 定期校正設備，確保數據準確性

根據 ISO 21501-4 規範，微粒子計數器每年至少須校正一次，以確保光學感測器精度維持穩定。若未定期校正，設備可能因雷射光源老化而產生偏差，導致數據不符實際狀況。

✔ 建議：選擇具 TAF 認證的校正實驗室，並保留完整報告供稽核追溯。

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3. 建構多點監測網路，掌握全區風險

單點數據無法反映整體空間風險，建議在關鍵區域設置多台微粒子計數器，進行區域性比較與趨勢追蹤。遠端型機種可連接 BMS 或 EMS 系統，自動傳輸數據，減少人為干擾。

✔ 建議安裝位置：

• 潔淨區出風口、回風口
• 物流動線交界處
• 生產機台周圍

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4. 善用圖像與趨勢報表，精準分析異常原因

現代微粒子計數器內建圖表生成與報表輸出功能，可視化資料有助於異常事件溯源與 SOP 調整。部分高階型號（如 TSI AeroTrak 系列）支援整合儀器聯網、自動警報設定、時間軸紀錄等功能。

✔ 建議：搭配空調、壓差與溫濕度資料交叉比對，更能洞察系統運作異常的根源。

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5. 結合空氣濾淨設備效能驗證

微粒子計數器也可作為濾網效率驗證的重要工具，協助確認 HEPA 或 ULPA 濾網安裝是否正確、效能是否衰退。尤其在更換濾網或清潔作業後，務必再次檢測空氣品質。

✔ 建議：搭配 PAO 漏風測試進行全區潔淨度驗證，有效避免局部污染未察。

TSI 桌上型微粒子計數器

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不同應用場景對應推薦型號

型號	圖	主要特點	適用場景	優勢
TSI 9303		便攜式，高精度，廣泛測量範圍，數據存儲功能	各種環境快速測量	便利性高，量測簡單，性價比高的選擇
AeroTrak+A100-50		大流量，每分鐘100升，多通道測量	生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境	高精度，高流量測量，多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件
表面大顆粒SPC微粒子計數器		ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理	Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留	取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理
AeroTrak+A100-31		高精度，1 CFM/每分鐘28.3升，穩定測量性能，友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail	各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境	便於攜帶，適合日常監測以及廠房驗收和品質管制
AeroTrak+ 7000/6000系列		適合遠距連續監測, 高性能，檢測0.2-25微米，多通道測量，有內建pump和外接Pump	潔淨室，製藥工業	施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的

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微粒子監控的最佳策略：主動掌握，系統思維

微粒子計數器不僅是一項儀器，更是企業落實潔淨室管理與風險控制的核心工具。從選型、安裝、操作到數據解析，每一環節都攸關整體環境品質的穩定與合規。當你能夠將這些技巧真正落實在管理系統中，潔淨室的運作效率與空氣品質自然會提升至全新水準。2025 年，是該升級的時候了。