潔淨室空氣品質管理指南｜微粒子感測器的實務應用全解析

潔淨室的空氣品質管理不僅關乎產品良率，更直接影響製程穩定與人員安全。在傳統粒子計數器之外，微粒子感測器因其高頻率監控、體積輕巧與易於整合的優勢，正成為新世代潔淨室空氣監測的核心設備。本文將深入解析微粒子感測器在無塵室環境中的實際應用方式、選型建議與整合策略，協助工程師與管理者打造高效、可即時反應的空氣品質管理系統。

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微粒子感測器如何強化潔淨室監測效能？

相較於傳統微粒子計數器每日定時抽樣的作法，微粒子感測器可實現即時、連續、多點監測，讓潔淨室管理從「事後反應」走向「預警防範」，有效降低異常粒子濃度未即時偵測而導致批次報廢的風險。

其核心應用優勢包括：

• 可即時掌握粒子變化趨勢
• 資料可透過通訊協定整合至 SCADA 或 BMS 系統
• 適合部署於人員進出熱點、關鍵製程區域
• 可外接溫濕度、壓差模組，形成複合監測點

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應用場域與部署建議

以下表格列出微粒子感測器在無塵室中的實際應用區域與部署重點：

應用區域	部署目的	推薦粒徑監測範圍	備註
人員更衣入口	偵測人員進出帶入之懸浮微粒	0.5μm～5μm	建議安裝在入口天花板區域
關鍵製程機台上方	即時掌握製程區粒子變化趨勢	0.3μm～1.0μm	搭配自動排風與設備聯動最佳
空調送風口	確保過濾系統效能正常	≥0.5μm	適合與HEPA風速與濾效監測連動
高風險材料儲存區	防止粉塵或化學品逸散	≥5μm	可搭配溫溼度感測器形成整合模組
天花板/側牆區域	廣域監控粒子整體流動趨勢	0.5μm～10μm	建議使用分區式部署設計

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不同微粒子感測器型號特色比較

目前潔淨室常見的微粒子感測器依功能與精度劃分，選型需依據實際應用場景進行搭配。以下整理三種代表型號規格與適用建議：

型號	偵測粒徑	偵測類型	輸出方式	適用場域
AES-FP	≥0.5μm	懸浮微粒	類比電壓輸出	HVAC整合、室內空品監測、IoT設備
AES-CKM	0.5μm / 5μm	懸浮+下落粒子	RS485、乙太網、警報輸出等	晶圓廠、LCD製程、光電組裝線
AES-LPM	5μm～50μm	大顆粒落塵	RS485、Wi-Fi、數位警報	精密金屬加工、噴塗、拋光製程區

每個型號皆可搭配外接溫溼度模組、壓差感測器或其他工控設備進行模組化整合，進一步提升監控層級。

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實務建議：建構模組化多點監測系統

在設計潔淨室空氣品質監測架構時，建議採取「多點佈建、資料集中、自動化回應」的策略。將各類微粒子感測器依照功能區劃分部署，再透過 RS485、乙太網或無線模組整合至 SCADA 系統，即可：

• 實現異常自動告警與事件追蹤
• 儲存監測歷史趨勢供驗證與調校
• 建立跨系統聯動機制（例如高粒徑→啟動局部排風）

這種模組化部署策略，特別適合製程複雜、空間區劃精密的半導體與醫療級潔淨室場域。

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提升潔淨室穩定度，從粒子感測數據開始

當潔淨室管理進入資料驅動時代，微粒子感測器的角色已不再只是單點監控工具，而是整體環控系統中的關鍵感知節點。無論是導入新廠或優化既有監控流程，選對適合的感測器型號並依場域佈點，都是強化潔淨室穩定度、提升良率與安全性的第一步。