大型電子製造廠—無塵室破百檢測點位，如何建立可管理的品質工程？

以大型電子製造場域實測案例解析 ISO Class 6 的測點規畫、執行節奏與數據價值

一、前言：真正困難的不是量一個點，而是讓每個點都能代表現場

無塵室確校常被理解為「拿著微粒子計數器到現場量測」，但當場域從單一房間擴大到多樓層、多功能區、近 3,000 m² 的製程空間時，核心挑戰便不再只是儀器操作，而是如何用一致的規畫、可追溯的量測與完整的資料結構，讓每一個測點都能反映實際環境。

本次案例來自大型電子製造場域。為保護客戶資訊，僅就檢測報告說明，拓生科技在兩個樓層、十個功能區完成158 個動態潔淨度測點，同步進行供氣風量與空氣換氣數、房間壓差驗證。所有潔淨度測點均以 ISO Class 6 為判定目標，將「大型場域」轉化為可執行、可檢核的確校專案。

二、為什麼破百點位的確校，不能只靠抽樣與經驗？

ISO 14644-1:2015 對潔淨區的粒子計數採樣點已有明確邏輯。不同面積需依 Table A.1 規畫最少採樣點，面積愈大，點位數與空間代表性要求也愈高。拓生科技的ISO 14644-1 粒子計數採樣點規畫與計算方法指出，2015 年版改採查表法，重點不在把測點平均灑開，而是在足夠的信賴水準下覆蓋整個作業區域。

大型場域通常同時存在更衣、緩衝、黃光／白光製程、設備密集與人流穿越等不同條件。若只取少數「看起來代表性高」的位置，便可能漏掉設備周邊、轉角、跨區出入口或人流負荷較高區域的差異。因此，破百點位不是形式化地增加工作量，而是把局部風險納入同一張環境性能地圖。

三、本案 158 點的規畫：兩樓層、十區域、同一套量測語言

分區範圍	功能區數	面積合計	潔淨度測點
一廠 2F	5 區	約 1,211 m²	71 點
二廠 2F	5 區	約 1,668 m²	87 點
全案合計	10 區	約 2,879 m²	158 點

從平面圖到執行，最重要的是「一點一號、一區一表、全場可回溯」。本案先依區域面積與等級配置測點，再將編號明確落在平面圖，讓測試人員、場務與品質單位都能辨識相同位置。這種編碼方式也有利於日後追蹤：當某一區微粒上升，管理者可以回到同一位置，比對設備變動、清潔紀錄、風量、壓差與人流狀態。

四、動態測試的標準化：把現場波動轉成可比較的數據

本案在動態狀態下執行，也就是人員與設備皆正常運轉。量測使用 TSI AeroTrak 9310 微粒子計數器，採樣流速為 1 CFM、每點採樣 1 分鐘，於距地 0.9–1.2 m 的人員作業範圍高度檢測 0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0 μm 共六個粒徑通道。相同的量測條件，是讓 158 筆資料可以橫向比較的前提。

ISO Class 6 的重點限值包括：0.3 μm 不超過 102,000 #/m³、0.5 μm 不超過 35,200 #/m³、1.0 μm 不超過 8,320 #/m³、5.0 μm 不超過 293 #/m³。本案 158 點均判定 Pass。舉例來說，一廠較高的測點為 0.3 μm 39,258 #/m³、0.5 μm 18,375 #/m³；二廠較高測點為 0.3 μm 95,124 #/m³、0.5 μm 9,823 #/m³，均未超出該粒徑的 Class 6 上限。

這些數據的價值不只在「合格」。大型動態場域中，不同區域的粒子讀值有差異是正常現象；管理的重點在於是否超過限值、是否出現不合理的區域落差，以及後續是否呈現連續上升趨勢。尤其是接近限值的區域，更值得列為日後加密巡檢或設備、人流變更後的優先比對點。

五、微粒之外，風量與壓差才是維持 Class 6 的持續動力

微粒數是結果，送風與壓差則是系統維持結果的條件。本案同步在大量供氣濾網位置執行風速、風量與換氣數測試；測試人員於濾網出風面左、中、右量測三次取平均，再以平均風速乘以濾網面積換算風量，並以總送風量除以室內體積取得每小時換氣數。報告引用 ISO 14644-4 的執行確效參考值：Class 6 區的換氣數須大於 70 ACH。

本案的風量平面圖同樣以連續編號規畫大量供氣濾網測點，反映大面積驗證需要同步掌握「每個區域是否有風」與「全場是否有足夠總風量」。相關量測與後續保養可搭配TSI Airflow PH731 風罩式風量計維護指南，建立固定儀器、固定位置與固定頻率的趨勢管理。

在壓差方面，本案 11 組潔淨區相鄰壓差介於 14.0–31.5 Pa，全部 Pass，且高於場域設定的 10 Pa 下限。這些數據可作為區域壓力梯度的基線；若將來出現門縫漏風、濾網阻力升高、風機異常或隔間變更，壓差趨勢往往是及早發現問題的重要線索。

六、破百點位專案的三個執行關鍵：路徑、品質與資料

第一，是以現場運作節奏設計採樣路徑。破百點位不宜任意穿插量測，應按樓層、區域與人流動線安排，減少測試人員反覆穿越造成的干擾，也避免漏點或重複點。第二，是全程維持儀器與測試條件一致。量測儀器須在有效校正期間，現場應記錄量測狀態、異常事件與必要環境資訊，才能避免日後數據失去可比性。

第三，是將資料轉成可行動的管理資訊。建議依ISO 14644-2 潔淨室監測計畫，把 158 點的原始數值、平面位置、判定結果及高值區域納入監測計畫。當某點異常時，不應只重新採樣，而應交叉比對風量、壓差、設備狀態與作業活動。若需進一步排查局部異常，也可參考從迴風死角診斷到風量平衡的實務方法，以風場與微環境角度尋找根因。

七、結語：大規模確校的價值，在於讓全場潔淨風險看得見

本案例在近 2,879 m² 的大型電子製造場域內，完成 158 個動態潔淨度測點，並整合風量、換氣數與壓差驗證。本次指定條件與測點配置下，全部潔淨度測點均符合 ISO Class 6 判定要求，11 組壓差亦全數 Pass。這份成果的真正意義，不只是完成一次驗收，而是建立一張能夠支援未來擴線、設備新增、維護與異常調查的環境資料底圖。

拓生科技提供無塵室第三方公正代測服務，可協助大型廠區依 ISO 14644 規畫測點、執行動態或靜態微粒測試、風量換氣數與壓差驗證，並將多區域資料整合成清楚、可追溯的確校報告。若您的場域即將新建、擴建、改造，或需要重新確認百點以上的潔淨環境表現，歡迎提供平面圖、目標潔淨等級與預計運轉狀態，由拓生科技協助規畫適合的檢測方案。